מאפיינים של חיישני לחץ סיליקון מפוזרים
Dec 13, 2022
בהשוואה לחיישנים בעלי עקרונות אחרים, חיישני לחץ סיליקון מפוזרים הם בעלי המאפיינים הבאים:
1. מתאים לייצור חיישנים בטווח קטן. להשפעה ה-piezoresistive של הנגד הרגיש לכוח של שבב הסיליקון אין אזור מת בטווח הנמוך הקרוב לאפס, וטווח חיישן הלחץ יכול להיות קטן עד כמה Kpa.
2. רגישות פלט גבוהה. גורם הרגישות של התנגדות מאמץ סיליקון גבוה פי 50-100 מזה של מד מתח מתכתי, כך שהרגישות של החיישן המקביל גבוהה מאוד, ותפוקת הטווח הכללי היא בערך 100mv. לכן, אין דרישה מיוחדת למעגל הממשק, והוא נוח יותר לשימוש.
3. דיוק גבוה. מכיוון שהחישה, ההמרה והזיהוי הרגישים של החיישן מתממשים על ידי אותו רכיב, אין קישור המרה ביניים, ושגיאות החזרה וההיסטרזה קטנות. מכיוון שלסיליקון החד-גבישי עצמו יש קשיחות רבה ודפורמציה מועטה, מובטחת ליניאריות טובה.
4. עקב הדפורמציה הנמוכה של היחידה הפועלת לסדר מיקרו-מתח, התזוזה המקסימלית של השבב האלסטי היא בסדר גודל של תת-מיקרון, כך שאין בלאי, אין עייפות, אין הזדקנות, והשירות החיים ארוכים כמו 1×103 מחזורי לחץ, עם ביצועים יציבים ואמינות גבוהה.
5. בשל הביצועים הכימיים המצוינים נגד קורוזיה של סיליקון, אפילו חיישני לחץ סיליקון מפוזרים שאינם מבודדים הם בעלי יכולת התאמה לא מבוטלת למדיות שונות.
6. מאחר והשבב מאמץ טכנולוגיה משולבת ואין לו חלקי תמסורת, הוא קטן בגודלו וקל משקל.
כל שאלה לגבינוUPB1משדר לחץ סיליקון, אנא צור קשרסטלה מנג.







